產品特點

◆  7 寸彩色觸摸屏互動操作界面，自動控制監(jiān)測工藝參數狀態(tài)，20 個配方程序，工藝數據可存儲追溯。

◆  PLC 工控機控制整個去膠過程，手動、自動兩種工作模式。

◆  石英真空艙，全真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質，耐腐蝕無污染。

◆  可選用石英舟，更適合晶元硅片去膠應用。

◆  采用花灑式多孔道進氣方式，改變單孔進氣不均勻問題。

◆  采用防腐數字流量計，實現對氣體輸入精準控制。標配雙路氣體輸送系統(tǒng)，可選多氣路氣體輸送系統(tǒng)，氣體分配均勻。 可輸入氧氣、氬氣、氮氣、氫氣或混合氣等氣體。

◆  HEPA 高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。

◆  處理高效均勻，效率高，工藝重復性好。

◆  樣品處理溫度低，無熱損傷和熱氧化。

◆  安全保護，艙門打開，自動關閉電源，機器運行、停止提示。

 技術參數